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JT-PRB白光干涉三維形貌儀

應用領域:
PRB系列白光干涉三維形貌儀是采用國外最先進的白光干涉掃描技術研制的納米量級形貌測量儀器,透過精密的掃描系統和自主專利的解析算法,進行樣品表面微細形貌的量測與分析。表面顯微成像能力與高精度測量的完美結合,只需數秒鐘,就能觀測到表面的三維輪廓、臺階高度、表面紋理、微觀尺寸以及包含各類參數的測量結果。

產品簡介】     

  JT-PRB系列白光干涉三維形貌儀是采用國外最先進的白光干涉掃描技術研制的納米量級形貌測量儀器,透過精密的掃描系統和自主專利的解析算法,進行樣品表面微細形貌的量測與分析。表面顯微成像能力與高精度測量的完美結合,只需數秒鐘,就能觀測到表面的三維輪廓、臺階高度、表面紋理、微觀尺寸以及包含各類參數的測量結果。

  系統采用氣浮式隔振模塊、堅固的花崗巖和鋼結構支撐,具有出色的穩定性。測量過程簡便而快速,只需把被測物體放置到載物臺,聚焦出干涉條紋,按下測量按鈕即可開始整個測量過程。

  標準配置采用六軸手動調整的載物平臺,可依據不同測試要求做彈性調整,并可選配電動載物平臺,以實現自動定位、自動聚焦、自動縫合之大面積高精度的量測要求,樣品均不需前處理即可進行非破壞、高精度、快速的表面形貌測量和分析。   


     



 


【系統構成】

☆ 光學照明系統 采用鹵素光源、中心波長為576nm、光譜范圍340nm—780nm

☆ 光學成像系統 采用無限遠光學成像系統、由顯微物鏡和成像目鏡組成 

☆ 垂直掃描系統 采用閉環反饋控制方式驅動顯微物鏡垂直移動、移動范圍0-500μm、位置移動精度 0.1nm

☆ 信號處理系統 計算機和數字信號協處理器組成、采集系列原始圖像數據使用專用數字信號協處理器完成數據解析

 

【工作原理】

白光干涉三維形貌儀是利用光學干涉原理研制開發的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經半反半透分光鏡分成兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光,并由成像系統在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉,在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現的位置解析出被測樣品的相對高度。   

        

 

 

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